NanoAirTM 10 è un contatore di particelle per aria da 10 nm appositamente realizzato allo scopo di rilevare le particelle che influenzano il rendimento all’interno degli strumenti di processo, nelle aree critiche delle camere bianche e nei gas pressurizzati ad alta purezza.
Il NanoAir 10 è un nuovo e rivoluzionario contatore di nanoparticelle per aria e gas di Particle Measuring Systems (PMS) che offre la sensibilità e l’accuratezza di un contatore di particelle a condensazione (CPC) con la facilità d’uso e la funzionalità di un tradizionale contatore di particelle per camere bianche. È stato progettato per monitorare ambienti ultra-puliti e fornisce una sensibilità di rilevamento di 10 nm con una portata di campionamento di 2,8 L/min.
Contatore di dimensioni ridotte e grande efficienza
Le dimensioni del nuovo NanoAir 10 sono più piccole dell’83% rispetto ai prodotti della concorrenza, rendendolo pratico da utilizzare ovunque in ambienti ultra-puliti, anche all’interno di strumenti di processo per semiconduttori e moduli front-end delle apparecchiature (EFEM). L’innovativo design del sistema di gestione del fluido di lavoro è robusto ed efficiente e consente un funzionamento continuo 24 ore su 24, 7 giorni su 7365 giorni, senza la necessità di alcun tipo di intervento da parte dell’utente, tra il rabbocco annuale del fluido di lavoro e la calibrazione. Inoltre, NanoAir 10 è compatibile con i gas ad alta pressione se utilizzato con il Diffusore ad Alta Pressione PMS HPD III. I dati possono essere visualizzati, analizzati e riportati utilizzando il software di monitoraggio dell’impianto PMS o trasmessi direttamente a sistemi SCADA di terze parti o agli ingressi degli strumenti di processo utilizzando MODBUS o l’uscita 4-20 mA.
ParticleSeeker
Utilizzato insieme a NanoAir 10, il manifold intelligente a 10 porte ParticleSeeker, consente applicazioni in cui sono necessarie più posizioni di campionamento. Il ParticleSeeker consente al NanoAir 10 di monitorare fino a 10 punti di campionamento utilizzando sequenze completamente programmabili.
“Solo Particle Measuring Systems offre un contatore di particelle per aria e gas da 10 nm appositamente progettato per l’uso negli spazi più critici dei fab e per applicazioni che ora includono il monitoraggio all’interno dei mini ambienti degli strumenti di processo”, ha dichiarato Isidro Sanchez, Electronics Global Product Line Manager di Particle Measuring Systems. Il formato straordinariamente compatto del NanoAir 10 e del manifold intelligente ParticleSeeker, che lo accompagna, offre ora ai produttori di elettronica e ai fornitori di gas la possibilità di monitorare particelle fino a 10 nm in aree che in precedenza erano molto difficili da raggiungere. Il NanoAir estende letteralmente la portata della nostra affidabile e innovativa linea di prodotti per il monitoraggio dell’aria, migliorando la resa e la produzione per i nostri clienti”.
 con precisione insuperabile e dimensioni minime.){kind=link}